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螺杆式干式无油真空泵
干式螺杆真空泵能够在大气压下启动，并迅速抽取至1Torr（3mbara）的压力，其极限真空可达0.01Torr（0.013mbara）。 在运行过程中，干式螺杆真空泵无需使用油或水，其泵腔内部无任何部分接触，短气通道设计使得泵能快速排放气体。
螺杆真空泵是一种机械真空泵，其优点如下： 抽气速度快，可达到高真空度。 抽气能力强，适用于大流量、高压力的场合。 无油设计，不需要添加润滑油，不存在油污染和油蒸气对被抽物质的影响，适用于对被抽物质要求高纯度的场合。 运行平稳，噪音低。
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- 油封式真空泵：使用真空泵油密封运动部件间隙，减少泵内空间，包括旋片式、定片式、滑阀式和余摆线式等。- 液环真空泵：转子偏心安装在泵壳内，旋转时抛出工作液体形成液环，与转子叶片形成吸排气腔，通常用水或油作为工作液体。
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