大家好，今天小编关注到一个比较有意思的话题，就是关于石墨反应釜的问题，于是小编就整理了2个相关介绍石墨反应釜的解答，让我们一起看看吧。
石墨盘用途？
在外延生长领域，高纯石墨盘是必不可少的。它在外延生长中起到加热和装载半导体晶圆的作用。
目前，主流外延设备厂商配套的石墨盘在结构上基本相同，均***用在石墨盘基座上设计一个晶圆形状的浅凹槽的方式来装载晶圆。
这种设计在生长小尺寸的晶圆(比如说4寸半导体晶圆)来说是合理的，维护起来也很方便。
但对于生长大尺寸的外延片，基于降低晶圆被旋转的石墨盘甩出的风险，晶圆槽底部相对于石墨盘顶部的高度比小尺寸石墨盘大一些。
这种设计导致了生长大尺寸外延片尤其是厚膜外延片出现了以下几个问题：
1)由于石墨盘与晶圆接触区域较多，在生长厚膜外延片时，沉积的外延层会增加石墨盘与半导体晶圆的粘接，使得生长完成后将外延片从石墨盘中无损伤取出较为困难，甚至可能导致裂片；
2)因晶圆边缘处较高的台阶使得该区域存在气体湍流，容易滞留较多的生长气体，从而使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差；
3)因外延炉一般***用射频感应加热，热量传递的方向是沿着石墨盘径向从边缘到中心，使得石墨盘边缘的温度高于中心区域的温度，这在大尺寸外延生长中尤为突出。
用途主要是能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质，同时用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封。
石墨盘主要是由各种增强纤维、金属丝（钢丝、铜丝、镍丝、碳纤维，预氧丝、玻璃纱）等增强的石墨线为原料精工编织而得。适用于高温高压条件下的动密封。它能用于密封热水、过热蒸气、热传递流体、氨溶液、碳氢化合物、低温液体等介质，主要用于高温、高压、耐腐蚀介质下阀门、泵、反应釜的密封 。它也是独特的万用密封盘。
聚合反应釜工作原理？
高压聚合反应釜是用于制造有机聚合物球体，具有一个瘦长型的釜体以及一组插设在釜体内的可替换的框式或桨式搅拌器。在聚合搅拌过程中高压聚合反应釜内流***于各轴向不同点处的线速度差异较小，从而可以获得粒度较为均一的聚合单体，同时***用本实用新型所设计的搅拌器也使高压聚合反应釜内各介质流层的流速更趋均匀。
高压聚合反应釜的结构和原理：
高压聚合反应釜由反应容器、搅拌器及传动系统、冷却装置、安全装置、加热炉等组成。
1、釜体、釜盖***用1Cr18Ni9Ti不锈钢加工制成，釜体通过螺纹与法兰联接，釜盖为正体平板盖，两者由周向均布的主螺栓、螺母紧固联接。
2、高压釜主密封口***用A型的双线密封，其余密封点均***用圆弧面与平面、圆弧面与圆弧面的线接触的密封形式，依靠接触面的高精度和光洁度，达到良好的密封效果。
3、釜体外装有桶型碳化硅炉芯，电炉丝穿于炉芯中，其端头由炉壳侧下部穿出，通过接线螺柱，橡套电缆与控制器相连。
4、高压聚合反应釜釜盖上装有压力表，爆破膜安全装置，汽液相阀，温度传感器等，便于随时了解釜内的反应情况，调节釜内的介质比例，并确保安全运行。
5、联轴器主要由具有很强磁力的一对内、外磁环组成，中间有承压的隔套。搅拌器由伺服电机通过联轴器驱动。控制伺服电机的转速，便可达到控制搅拌转速的目的。
6、隔套上部装有测速线圈，连成一体的搅拌器与内磁环旋转时，测速线圈便产生感应电动势，该电势与搅拌转速相应，该电势传递到转速表上，便可显示出搅拌转速。
7、磁联轴器与釜盖间装有冷却水套，当操作温度较高时应通冷却水，以及磁钢温度太高而退磁。
到此，以上就是小编对于石墨反应釜的问题就介绍到这了，希望介绍关于石墨反应釜的2点解答对大家有用。
